本站消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权股票配资的合法性，专利名为“气流分区调控的FFU整流板和调整胶形的涂胶工艺”，专利申请号为CN201911052499.X，授权日为2024年9月17日。
专利摘要：本发明公开了一种气流分区调控的FFU整流板和调整胶形的涂胶工艺，属于光刻胶的涂胶工艺技术领域。分区调控的FFU整流板的可调控区域具有双层可旋转网孔结构，通过调节网孔重合度实现分区控制FFU风速，从而调控匀胶时晶圆所处气流环境，实现胶形的精确调控。本发明的匀胶工艺，可实现配方不做改动下通过分区调控FFU风速方式快速精确调整胶形至预期效果。
今年以来芯源微新获得专利授权28个，较去年同期增加了3.7%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。
数据来源：天眼查APP
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